1.非线性误差:这是一个对压力传感器的初始误差影响很小的因素。错误的原因是硅芯片的物理非线性,但对于带有放大器的传感器,还应包括放大器的非线性,线性误差曲线可以是凹曲线或凸曲线测力计。
2.偏移误差:由于压力传感器的垂直偏移在整个压力范围内保持恒定,因此转换器的扩散变化和激光调整校正将产生偏移误差。
3.灵敏度误差:误差的大小与压力成正比,如果设备的灵敏度高于典型值,则灵敏度误差将是压力的增加函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的下降函数,该错误的原因是扩散过程的变化。
4.磁滞误差:在大多数情况下,压力传感器的磁滞误差可以完全忽略不计,因为硅芯片具有很高的机械刚度。通常,当压力变化很大时,仅需要考虑磁滞误差。
压力传感器的四个错误是不可避免的,我们只能选择高精度的生产设备,使用高科技来减少这些误差,还可以在工厂进行误差校准,并尝试尽可能减少误差。因此在使用的时候不需要过多的在意,而是尽可能的减少这些误差。