基于应变的压力传感器使用应变片作为压力敏感元件,通常是将金属箔式应变片或是膜片粘合到圆柱形弹性体上。应变原理压力传感器最大优点是具有极高刚度,可测量高达15000 bar的极高压力。电连接通常通过惠斯通电桥完成,具有极高的精确性和一致的测量结果。
电容式压力传感器使用压力腔和膜片来产生可变电容。当施加压力时,隔膜变形,电容相应减小。通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。这些传感器仅限于大约40 bar的低压。
压阻式压力传感器由一个主要由硅制成的膜片组成,采用集成的应变片来检测施加压力产生的应变。通常采用惠斯通电桥来降低灵敏度并增加输出。由于所使用的材料,压力限制在1000 bar左右。与上述技术不同的是,谐振式压力传感器通过结构共振频率的变化来测量由施加压力引起的应力。根据这种传感器的设计,谐振元件可以暴露于介质中,其中谐振频率取决于介质的密度。通常这些传感器会对冲击和振动敏感。
另外不使用测量体的其它压力传感器有热或电离压力传感器,其利用带电粒子流动产生的密度变化来测量所施加的压力。